據(jù)上海市環(huán)境保護信息中心近日公示信息，2021年，上海集成電路研發(fā)中心國產(chǎn)設(shè)備機臺及化學(xué)品的驗證業(yè)務(wù)量明顯上升，超過企業(yè)現(xiàn)有試驗規(guī)模，因此上海集成電路研發(fā)中心擬依托現(xiàn)有的試驗線，建設(shè)“國產(chǎn)驗證項目”。主要的驗證內(nèi)容有：一，驗證國產(chǎn)酸洗工藝和材料，相應(yīng)增加氫氟酸、硝酸、硫酸、氨水、雙氧水的使用量；二，驗證評估國產(chǎn)光刻膠，相應(yīng)增加光刻膠、稀釋劑、顯影液、防反射薄膜生成液及NE111的用量。項目總投資5000萬元，計劃于2021年12月開工，2022年2月完成建設(shè)。
（文章來源：中國證券報·中證網(wǎng)）
